Standards Calibration – Marche étalon Nanuler Calibration Standard Cette grille de calibration polyvalente est conçue pour l’étalonnage de microscopes AFM, MEB et les profilomètres optiques et mécaniques. Les caractéristiques comprennent les hauteurs des marches, les lignes, les grilles, la boîte de grossissement et les structures de mesure de structures. Les caractéristiques sont gravées dans SiO2 […]
Profilomètre mécanique larges échantillons Séries FP 1. Larges échantillons de 200 à 500mm 2. Têtes de mesure de KLA 3. Précision vertical sub-nanométrique 4. Longues courses de balayages 5. Repositionnement de haute reproductibilité Toho Technology propose des solutions de métrologie de surface adaptée aux larges échantillons (de 200 à 500mm). Utilisant les têtes de mesure […]
Profilomètre mécanique 2D D500 1. Profilométrie 2D 2. Platine 150mm 3. Motorisation XY et rotation manuelles sur 360° 4. Faible force d’appuis 5. Double détecteur optique Le profilomètre mécanique Alpha-Step D-500 est capable de mesurer des hauteurs de pas 2D allant de quelques nanomètres à 1200 µm. Il prend également en charge les mesures 2D […]
Profilomètre mécanique du nanomètre au millimètre D600 1. Programmation des recettes pour des mesures automatisées 2. Faible force d’appuis 3. Platine 200mm 4. Rotation manuelle sur 360° 5. Aspiration centrale 6. Double détecteur optique Le profilomètre Alpha-Step D-600 est capable de mesurer des hauteurs de marche 2D et 3D allant de quelques nanomètres à 1200 […]
Profilomètre mécanique au meilleur rapport qualité/prix P7 1. Hauteur des marches de quelques nanomètres à un millimètre 2. Production et R&D 3. Platine 150mm 4. Rotation manuelle sur 360° 5. Mesures 2D et 3D 6. Rugosité, archet et de contraintes Le P-7 s’appuie sur le succès du système de profilage de stylet de table P-17, […]
Profilomètre mécanique pour l’industrie P17 1. Performant 2. Haute résolution 3. Industrie et R&D 4. Entièrement motorisé 5. Platine de 200mm (300mm en option) 6. Rotation à 360° Le P-17 est un profileur de stylet de paillasse de pointe, fondé sur plus de 40 ans d’expérience en métrologie de surface. Le P-17 est capable de […]
Étalons éclairement OL 345 Standards de calibration radiométrique et photométrique L’OL 345 est une norme radiométrique et photométrique robuste et polyvalente capable d’étalonner avec précision une grande variété d’instruments de mesure de la lumière. Il est composé d’une lampe halogène au tungstène de 45 watts et d’un diffuseur opale éclairé amovible monté dans un […]
Réflectomètres Multi sites/ In-Situ F30 1. Améliore considérablement la productivité 2. meilleur rapport qualité/prix 3. Rapide et précis 4. Facile à utilisé 5. Système clé en main L’outil le plus puissant disponible pour surveiller le dépôt de couches minces Mesurez les taux de dépôt, l’épaisseur du film, les constantes optiques (n et k) et l’uniformité […]
Cartographie d’épaisseur de couches-minces automatisable F50 1. Cartographie rapide 2. Échantillon jusqu’à 450 mm de diamètre 3. Nombreux modèles de carte 4. Personnalisable 5. Automatisé La famille de produits Filmetrics F50 permet de cartographier l’épaisseur de film aussi rapidement que deux points par seconde. Une platine R-Thêta motorisée accepte les mandrins standard et personnalisés pour […]
Réflectomètres Adaptable sur microscope F40 1. Spot aussi petite que 1 micron 2. Connexion au microscope simple 3. Surveillance précise du point de mesure 4. Large plage de mesure La famille de produits F40 est destinée aux applications nécessitant une taille de spot aussi petite que 1 micron. Pour la plupart des microscopes, le F40 […]
Mesure ponctuelle F20 1. Configuration simple dès 10 000€ 2. 10Å à 10mm 3. Mesure rapide 4. Large plage de mesure Les F20, F10 et F3 sont des instruments de mesure d’épaisseur de film à usage général et sont utilisés dans des milliers d’applications dans le monde entier. L’épaisseur et l’indice de réfraction peuvent être mesurés […]
Nanoindenteur pour Haute température InSEM HT 1. Propriétés mécaniques à haute température sous vide 2. Déformations en temps réel, 3. Compatible avec les chambres à microscope électronique à balayage (MEB) et à faisceau ionique focalisé (FIB), ou les chambres à vide autonomes Le système de test KLA InSEM® HT (haute température) permet de tester les […]