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Vous êtes ici : Accueil > Produits > Réflectomètres Cartographie Automatisée

Cartographie d’épaisseur de couches-minces automatisable

F50

F50

1. Cartographie rapide
2. Échantillon jusqu'à 450 mm de diamètre
3. Nombreux modèles de carte
4. Personnalisable

5. Automatisé

La famille de produits Filmetrics F50 permet de cartographier l'épaisseur de film aussi rapidement que deux points par seconde. Une platine R-Thêta motorisée accepte les mandrins standard et personnalisés pour les échantillons jusqu’à 450 mm de diamètre. (Il s'agit du même stade à durée de vie élevée qui effectue des millions de mesures dans nos systèmes de production!)

Les modèles de carte peuvent être polaires, rectangulaires ou linéaires, ou vous pouvez créer les vôtres sans limitation du nombre de points de mesure. Des dizaines de modèles de cartes prédéfinis sont fournis.

Le système de cartographie d'épaisseur de film F50 se connecte au port USB de votre ordinateur Windows® et peut être configuré en quelques minutes.

Les différents instruments F50 se distinguent principalement par l'épaisseur et la plage de longueurs d'onde. Le standard F50 est le plus populaire. Des longueurs d'onde généralement plus courtes (par exemple, F50-UV) sont nécessaires pour mesurer des films plus minces, tandis que des longueurs d'onde plus longues permettent de mesurer des films plus épais, plus rugueux et plus opaques.

  • Série F54 : taille de spot plus fin - échantillon jusqu'à 450mm de diamètre - R&D. Plus d'info >
  • Série F54-XY-200mm : platine de déplacement XY rapide et précise - capot de protection acoustique - Production. Plus d'info >
  • Série F60 :  automatisation élevée - détection de notch - interface SECS/GEM - Dédiée à la production. Plus d'info >

Réfléctométrie

F20

F20 :
Mesure ponctuelle >>

F40

F40 :
Adaptable sur microscope >>

Inline-monitoring-f30

F30 :
Multi sites/ In-Situ >>

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Applications Caractéristiques Accessoires Spécifications
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Applications 

  • Fabrication de semi-conducteurs

    • Photoresist
    • Oxydes / nitrures/ SOI
    • Wafer
  • Mems

    • Photoresist
    • Membranes de silicium
  • Dispositifs biomédicaux

    • Revêtement de dureté
    • Revêtement antireflet
  • Affichage à cristaux liquides

    • Lacunes cellulaires
    • Polyamide
    • ITO
Photoresist image
Process film image
Oled image
Medical devices image

Plus d'info sur les applications

- Amorphe et polysilicium
- Diélectriques
- Épaisseur dure
- Analyse d'échec IC
- ITO et autres TCO
- Équipement médical
- Épaisseur du métal
- Microfluidique
- OLED
- Revêtements ophtalmiques
- Parylene Coatings
- Photoresist
- Silicium poreux
- Films de traitement
- Indice de réfraction & k
- Plaquettes et membranes de silicium
- Applications solaires
- Laboratoires d'enseignement sur les semi-conducteurs
- Rugosité et finition de surface

Mapping d'épaisseur personnalisable jusqu'à 300mm

Ce qui est inclus

  • Spectromètre intégré / source de lumière
  • câble de fibre optique
  • Normes de réflectance des tranches de 4 ", 6" et 200 mm
  • TS-SiO2-4-7200 Norme d'épaisseur
  • Norme de réflectance BK7
  • Filtre aplatissant (pour les substrats hautement réfléchissants)
  • Pompe à vide
  • Lampe de rechange TH-1

Avantages supplémentaires

  • Bibliothèque avec plus de 130 matériaux inclus avec chaque système, avec accès à 100 autres
  • Ingénieurs d'applications disponibles pour une assistance immédiate 24 heures sur 24 (lundi à vendredi)
  • Support en ligne "Hands On"
  • Programme de mise à niveau du matériel
Automated thickness map f50 med-large

AVANTAGES

- Cartographie rapide
- Échantillon jusqu'à 450mm de diamètre
- Nombreux modèles de carte
- Personnalisable

- Automatisé

 

Accessoires

Nist

NIST-traceable thickness standard

Chuck

F50 chuck - 100mm, 200mm, 300mm & 450mm

Vis-uv

F50 small spot option, VIS-UV

Specifications

Model Specifications 

Model Thickness Range* Wavelength Range
F50 20nm - 70µm 380-1050nm
F50-UV 5nm - 40µm 190-1100nm
F50-NIR 100nm - 250µm 950-1700nm
F50-EXR 20nm - 250µm 380-1700nm
F50-UVX 5nm - 250µm 190-1700nm
F50-XT 0.2µm - 450µm 1440-1690nm
F50-s980 4µm - 1mm 960-1000nm
F50-s1310 7µm - 2mm 1280-1340nm
F50-s1550 10µm - 3mm 1520-1580nm

*film stack dependent

Thickness Range*

F50 range

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Nous vous répondrons dans un délai de 24h

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