Cartographie d’épaisseur de couches-minces automatisable
F50
1. Cartographie rapide
2. Échantillon jusqu'à 450 mm de diamètre
3. Nombreux modèles de carte
4. Personnalisable
5. Automatisé
La famille de produits Filmetrics F50 permet de cartographier l'épaisseur de film aussi rapidement que deux points par seconde. Une platine R-Thêta motorisée accepte les mandrins standard et personnalisés pour les échantillons jusqu’à 450 mm de diamètre. (Il s'agit du même stade à durée de vie élevée qui effectue des millions de mesures dans nos systèmes de production!)
Les modèles de carte peuvent être polaires, rectangulaires ou linéaires, ou vous pouvez créer les vôtres sans limitation du nombre de points de mesure. Des dizaines de modèles de cartes prédéfinis sont fournis.
Le système de cartographie d'épaisseur de film F50 se connecte au port USB de votre ordinateur Windows® et peut être configuré en quelques minutes.
Les différents instruments F50 se distinguent principalement par l'épaisseur et la plage de longueurs d'onde. Le standard F50 est le plus populaire. Des longueurs d'onde généralement plus courtes (par exemple, F50-UV) sont nécessaires pour mesurer des films plus minces, tandis que des longueurs d'onde plus longues permettent de mesurer des films plus épais, plus rugueux et plus opaques.
- Série F54 : taille de spot plus fin - échantillon jusqu'à 450mm de diamètre - R&D. Plus d'info >
- Série F54-XY-200mm : platine de déplacement XY rapide et précise - capot de protection acoustique - Production. Plus d'info >
- Série F60 : automatisation élevée - détection de notch - interface SECS/GEM - Dédiée à la production. Plus d'info >
Applications
- Fabrication de semi-conducteurs
- Photoresist
- Oxydes / nitrures/ SOI
- Wafer
- Mems
- Photoresist
- Membranes de silicium
- Photoresist
- Dispositifs biomédicaux
- Revêtement de dureté
- Revêtement antireflet
- Revêtement de dureté
- Affichage à cristaux liquides
- Lacunes cellulaires
- Polyamide
- ITO
- Lacunes cellulaires
Plus d'info sur les applications
- Diélectriques
- Épaisseur dure
- Analyse d'échec IC
- ITO et autres TCO
- Équipement médical
- Épaisseur du métal
- Microfluidique
- OLED
- Revêtements ophtalmiques
- Parylene Coatings
- Photoresist
- Silicium poreux
- Films de traitement
- Indice de réfraction & k
- Plaquettes et membranes de silicium
- Applications solaires
- Laboratoires d'enseignement sur les semi-conducteurs
- Rugosité et finition de surface
Mapping d'épaisseur personnalisable jusqu'à 300mm
Ce qui est inclus
- Spectromètre intégré / source de lumière
- câble de fibre optique
- Normes de réflectance des tranches de 4 ", 6" et 200 mm
- TS-SiO2-4-7200 Norme d'épaisseur
- Norme de réflectance BK7
- Filtre aplatissant (pour les substrats hautement réfléchissants)
- Pompe à vide
- Lampe de rechange TH-1
Avantages supplémentaires
- Bibliothèque avec plus de 130 matériaux inclus avec chaque système, avec accès à 100 autres
- Ingénieurs d'applications disponibles pour une assistance immédiate 24 heures sur 24 (lundi à vendredi)
- Support en ligne "Hands On"
- Programme de mise à niveau du matériel
AVANTAGES
- Cartographie rapide
- Échantillon jusqu'à 450mm de diamètre
- Nombreux modèles de carte
- Personnalisable
- Automatisé
Accessoires
NIST-traceable thickness standard
F50 chuck - 100mm, 200mm, 300mm & 450mm
F50 small spot option, VIS-UV
Specifications
Model Specifications
| Model | Thickness Range* | Wavelength Range |
|---|---|---|
| F50 | 20nm - 70µm | 380-1050nm |
| F50-UV | 5nm - 40µm | 190-1100nm |
| F50-NIR | 100nm - 250µm | 950-1700nm |
| F50-EXR | 20nm - 250µm | 380-1700nm |
| F50-UVX | 5nm - 250µm | 190-1700nm |
| F50-XT | 0.2µm - 450µm | 1440-1690nm |
| F50-s980 | 4µm - 1mm | 960-1000nm |
| F50-s1310 | 7µm - 2mm | 1280-1340nm |
| F50-s1550 | 10µm - 3mm | 1520-1580nm |
*film stack dependent
Thickness Range*
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