Réflectomètres Multi sites/ In-Situ

Usages multiples

Le F30 regroupe plusieurs instruments: il s’agit d’un outil d’étalonnage pré-dépôt permettant d’ajuster une recette de traitement avant le dépôt réel, d’un moniteur en temps réel du processus de dépôt en couche mince, d’un capteur de défauts et d’un instrument d’évaluation post-dépôt la structure multicouche complétée.

Mesure de dépôt

Pour les couches en croissance, le F30 surveille en permanence la réflectance de l'échantillon à une ou plusieurs longueurs d'onde. Les propriétés optiques de la couche déposée produisent des oscillations de brouillage uniques dépendantes du temps dans le signal de réflectivité. L'analyse "d'interface virtuelle" de ces oscillations permet de déterminer facilement le taux de dépôt de la couche et les constantes optiques avec une précision de 1%. Les couches sous-jacentes étant automatiquement comptabilisées, aucune connaissance du dépôt précédent n'est requise.

La mesure simultanée du taux de dépôt à deux endroits ou plus révèle l'uniformité de l'échantillon. Le F30 fournit également un moyen efficace de détecter le rugosité de la surface associée aux transitions eutectiques utilisées pour l’étalonnage en température.
Mesure des couches statiques
Pour les couches statiques (inchangées), le F30 mesure le spectre de réflectance de l'échantillon, puis analyse ces données avec des routines de simulation puissantes pour déterminer l'épaisseur de la couche et ses constantes optiques. Toute couche dans une pile de quatre couches au maximum peut être mesurée de cette manière.