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Cartographie d’épaisseur de couches-minces dédiée à la production

F60t main image-large

F60

1. Dédié à la production

2. Automatisé
3. Rapide

4. Personnalisable

La famille F60-t cartographie l'épaisseur et l'indice du film tout comme nos produits F50, mais elle comprend également un certain nombre de fonctionnalités destinées spécifiquement aux environnements de production. Il s'agit notamment de la recherche automatique d'entaille, de la ligne de base, d'une platine de mesure fermée avec verrouillage de mouvement et d'un ordinateur industriel avec logiciel préinstallé.

  • Série F50 : Meilleur rapport qualité/prix - évolutif. Plus d'info >
  • Série F54 : échantillon jusqu'à 450mm de diamètre. Plus d'info >
  • Série F54-XY-200mm : platine de déplacement XY rapide et précise - capot de protection acoustique - Production Plus d'info >

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Cartographie d’épaisseur de couches-minces dédiée à la production

L'épaisseur de la couche mince et les n & k sont cartographiés rapidement et facilement avec le système de réflectance spectrale avancé F60. La platine R-Theta motorisée se déplace automatiquement vers les points de mesure sélectionnés et fournit des mesures d'épaisseur en quelques secondes. Choisissez l'un des dizaines de modèles de carte polaires, rectangulaires ou linéaires prédéfinis, ou créez le vôtre sans limite de nombre de points de mesure. Une carte typique en 49 points prend environ 45 secondes.

Screenshot f60 med-large
Screenshot f60 map med-large

AVANTAGES

- Dédié à la production

- Automatisé
- Rapide

- Personnalisable

Accessoires

Nist

NIST-traceable thickness standard

Chuck

F50 chuck - 100mm, 200mm, 300mm & 450mm

Specifications

Model Specifications 

Model Thickness Range* Wavelength Range
F60-t 20nm - 70µm 380-1050nm
F60-t-UV 5nm - 40µm 190-1100nm
F60-t-NIR 100nm - 250µm 950-1700nm
F60-t-EXR 20nm - 250µm 380-1700nm
F60-t-UVX 5nm - 250µm 190-1700nm
F60-t-XT 0.2µm - 450µm 1440-1690nm
F60-s980 4µm - 1mm 960-1000nm
F60-t-s1310 7µm - 2mm 1280-1340nm
F60-t-s1550 10µm - 3mm 1520-1580nm

*film stack dependent

Thickness Range*

F60 specs

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