Profilomètre mécanique larges échantillons
Séries FP
1. Larges échantillons de 200 à 500mm
2. Têtes de mesure de KLA
3. Précision vertical sub-nanométrique
4. Longues courses de balayages
5. Repositionnement de haute reproductibilité
Toho Technology propose des solutions de métrologie de surface adaptée aux larges échantillons (de 200 à 500mm). Utilisant les têtes de mesure de KLA, les performances de FP series permettent d’atteindre une précision vertical sub-nanométrique. Le savoir-faire de Toho repose principalement sur l’adaptation aux longues courses de balayages et au repositionnement de haute reproductibilité
Profilomètrie mécanique
Applications larges échantillons
Les profilomètres mécaniques Toho sont conçus pour fournir des mesures de profil précises dans une vaste gamme d'applications:
- Hauteurs de films minces
- Hauteurs de films épais
- Résines photosensibles / films souples
- Caractérisation de la rugosité de la surface
- Courbure et forme de la surface
- Contraintes 2D sur des films minces
- Analyse de la dimension crête à vallée
- Imagerie 3D
- Planéité
- Analyse des défauts
Plus d'info sur les applications
- Caractérisation des matériaux
- Métrologie générale
- Verre
- La sécurité alimentaire
- Automatisation
La profilométrie 2D
Les profilomètres mécaniques personnalisés Toho offrent des fonctionnalités de mesure complètes pour les installations de production de masse et de recherche qui exigent précision, performance et valeur.
Intégrant la tête de mesure à faible force exclusive de KLA-Tencor, les profileurs Toho fournissent une force de stylet faible et permettent des mesures extrêmement précises allant du micron au nanomètre pour analyser tout substrat FPD carré supérieur à 300 mm.
AVANTAGES
- Larges échantillons de 200 à 500mm
- Têtes de mesure de KLA
- Précision vertical sub-nanométrique
- Longues courses de balayages
- Repositionnement de haute reproductibilité
Logement de substrat
Toho propose une gamme complète de profileurs de la série FP conçus pour accueillir des substrats de toutes tailles. Les modèles FP-10 sont parfaits pour les panneaux plus petits.
KLA-Tencor Micro HeadToho
Les profileurs sont dotés de la technologie brevetée du cœur de la tête de mesure KLA-Tencor afin de fournir le meilleur profilomètre.
Profilage de stylet
Le stylet L standard (2 μm, 60 °) permet un balayage de précision avec une plage de force allant de 0,5 mg à 15 mg, offrant une longueur de balayage continu allant jusqu'à 90 mm à une vitesse de 25 mm par seconde.
Répétabilité
Reproduction de mesure excellente et fiable avec une répétabilité de balayage de 10 Å au centre de la scène.
Modèles
FP-10
Type A: tête fixe / déplacement de la scène
(substrats allant jusqu'à 400 mm x 500 mm)
Pour les applications à plus petite échelle où l'encombrement et les budgets sont limités, le Toho FP-10 est le bon choix pour l'analyse de surface. La conception originale de KLA-Tencor avec une scène mobile est utilisée. Deux vis-mères (X et Y) servent à localiser un point de mesure, tandis que la tête et le stylet brevetés sont fixés sur la platine. S'adaptant à divers matériaux, formes et rigidités, le FP-10 offre une excellente polyvalence.
FP-20
(tout substrat de plus de 400 mm x 500 mm)
Spécifications
Performance
| Scan Repeatability | |
|---|---|
| X and Y Repeatability | ± 2 μm |
| Scan Length | 30 mm ~ 90mm with stress option |
| Scan Speed | 1μm / sec ~ 25mm / sec |
| Sampling Rate | 50 / 100 / 200 / sec |
| Throat Height | 15 mm |
| Vertical Range | 0 – 130 μm |
| L – Stylus | 2 μm / 60 degrees |
| Stylus Force | 0.5 mg – 15 mg |
| Pattern Recognition | Manual / Auto optional |
| Noise | Equipped |
Configuration
| Sample Size (mm) A type | |
|---|---|
| Sample Size (mm) X type | any size larger than 400mm x 500mm |
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