Réflectomètres et mesure d'épaisseur de couches minces
Les systèmes de mesures de couches-minces par réflectométrie permettent de mesurer rapidement et avec haute précision la réflectance, l’épaisseur et les indices optiques de dépôt mono et multi-couches. Avec les équipements de Filmetrics/ KLA, Scientec propose une large gamme de solutions en simple/multiple mesures, en ligne, adaptée sur microscope ou in-situ.
10Å à 10mm? Aucun problème
En un clic, vous pouvez mesurer le spectre de réflectance et en déduire l'épaisseur d'un film mince en analysant la façon dont le film réfléchit la lumière. En mesurant la lumière non visible à l’œil humain, des films aussi minces que 1 nm et aussi épais que 13 mm peuvent être mesurés ....
En un clic, vous pouvez mesurer le spectre de réflectance et en déduire l'épaisseur d'un film mince en analysant la façon dont le film réfléchit la lumière. En mesurant la lumière non visible à l’œil humain, des films aussi minces que 1 nm et aussi épais que 13 mm peuvent être mesurés ....
Mapping d'épaisseur personnalisable - meilleur rapport qualité/prix F50 >
Taille de spot fin - échantillon jusqu'à 450mm de diamètre - R&D. F54 >
Capot de protection acoustique - Production. F54-XY-200 >
Automatisation élevée - détection de notch - interface SECS/GEM. F60 >
