Cartograhie de resistivité et conductivité
Série R50
1. Sonde à quatre points et systèmes de sonde à courants de Foucault
2. Exemple de cartographie dans des configurations rectangulaires, linéaires, polaires et personnalisées
3. X-Y jusqu'à 200 mm
4. Mesurez une plage de dix décades de résistance de film conducteurs et semi-conducteurs
5. Mesure avec et sans contact
Les outils de mesure de résistance et conductivité Filmetrics® marient la technologie développée et perfectionnée par KLA depuis plus de 30 ans avec la technologie des instruments de paillasse développée au cours des 20 dernières années par l'équipe Filmetrics. Les technologies KLA comprennent des méthodes avec et sans contact. La famille Filmetrics d'instruments de mesure de résistance de film peut mesurer des films conducteurs et des couches minces déposées sur divers substrats.
Profilomètrie Optique
Applications
Un large éventail de mesures est pris en charge :
-
Semiconducteurs
- Wafer
-
Substrats en verre
-
Substrats en plastique (flexibles)
-
Caractéristiques à motifs PCB
-
Cellules solaires
-
Couches d'affichage à écran plat et fonctionnalités à motifs
-
Feuilles métalliques
Plus d'info sur les applications
- Hauteur des marches
- Texture: rugosité et ondulation
- Arc et forme
- Edge RollOff
- Examen des défauts
Cartographie de résistivité/conductivité automatisée des films
La série Filmetrics R50 fournit des mesures par sonde à quatre points de contact (4PP) et par courants de Foucault (EC) sans contact. Le R50 cartographie la résistivité / conductivité du film conducteur aussi rapidement que 1 point / s. La platine X-Y motorisée utilise un mandrin de plaquette standard ou un porte-échantillon personnalisé pour des tailles d'échantillon jusqu'à 300 mm et plusà une zone de mesure de 200 mm.
Caractéristiques standards:
- Platine X-Y automatisée avec:
- de 100 mm x 100 mm
- de 200 mm x 200 mm (-200 modèles) - Course en Z de 100 mm
- Platine basculante avec course de +/- 5 °
- Nombre illimité d'emplacements de mesure dans un exemple de carte
AVANTAGES
- Sonde à quatre points et systèmes de sonde à courants de Foucault
- Exemple de cartographie dans des configurations rectangulaires, linéaires, polaires et personnalisées
- X-Y jusqu'à 200 mm
- Mesurez une plage de dix décades de résistance de film conducteurs et semi-conducteurs
- Mesure avec et sans contact
Logiciel de la série R50 : Automatisation des mesures
- LE GÉNÉRATEUR DE MOTIFS DE CARTE
Le générateur de modèles de carte intégré vous permet de générer facilement les modèles de points nécessaires pour mesurer la zone pertinente de vos échantillons, économisant ainsi du temps lors de l'acquisition de données.
Voici quelques-uns des paramètres que vous pouvez ajuster pour personnaliser les propriétés de votre carte:
-Cartes rondes ou carrées
- Motifs radiaux ou rectangulaires
- Exclusion de centre ou de bord
- Densité du spot
- VISUALISATION DES RÉSULTATS DE MESURE EN 2D ET 3D
Que vous mesuriez la résistivité ou la conductivité, RsMapper vous permet d'afficher les cartes de mesure résultantes en 2D ou en 3D. Basculez facilement entre les cartes pour les paramètres de mesure individuels et faites pivoter librement les profils 3D pour obtenir une vue optimale des résultats.
UNIFORMITÉ DU FILM TIWN
Le logiciel RsMapper génère des cartes faciles à visualiser de la résistivité variable du film. La carte de résistance de feuille mesurée d'un film TiWN illustrée ci-dessous illustre la variation d'épaisseur de film à travers la tranche en raison du processus de dépôt. La carte révèle la variation non radiale du processus.
MESURES DE SIGNAL À BRUIT ÉLEVÉ D'UN FILM MÉTALLIQUE SUR SI
Le système R50-4PP offre à l'utilisateur la possibilité de consulter la carte de mesure sous forme de graphique de points reliant la résistivité au moment où chaque mesure a été effectuée. Les points tracés illustrent la qualité du signal sur bruit du système avec une résistivité variable. L'onglet historique est un outil idéalpour les cas d'utilisation de production et illustre les anomalies ponctuelles d'un film. Ceux-ci peuvent être retracés àemplacements spécifiques des plaquettes et enquêté plus avant pour diagnostiquer les problèmes de processus.
Modèles (disponibles au 3e trimestre 2020)
| Modèles | Description |
|---|---|
| R50-4PP |
|
| R50-EC |
|
| R50-200-4PP | |
| R50-200-EC |
Utilise une sonde à courants de Foucault sans contact pour mesurer la résistance de la feuille; Platine x-y motorisée à débattement de 200 mm; cartographie des échantillons jusqu'à 200 mm de diamètre |
Spécifications
General
| Z Range | 100mm |
| Z Stage Type | Automated |
| X-Y Stage Type | Automated |
| Sample Max Weight | 2.5kg |
| Tip-Tilt Stage | +/- 5°, Manual |
Mechanical Performance
| X-Y Stage Range | 100mm x 100mm |
| Sample Max Width | 265mm |
| System Size, W x D x H | 305mm x 305mm x 550mm |
| System Weight | 15kg |
| X-Y Stage Range | 200mm x 200mm |
| Sample Max Width | 365mm |
| System Size, W x D x H | 406mm x 406mm x 550mm |
| System Weight | 22kg |
Electrical Performance 4PP
| Site Repeatability | <0.2% |
| Accuracy | +/- 1% |
| Measurement Range 1 | 5mOhm/sq - 5MOhm/sq |
| Matching 1 | <0.2% |
Electrical Performance EC
| Site Repeatability | <0.2% |
| Accuracy | +/- 1% |
| Measurement Range 1 | 1mOhm/sq - 10Ohm/sq |
| Matching 1 | <0.2% |
4PP (four-point probe)
| Probes | Type A | Type C | Type E | Type F |
| Probe Spacing | 1mm | 1mm | 1.625mm | 0.625mm |
| Probe Contact Radius | 40µm | 200µm | 40µm | 40µm |
Contactez-nous pour plus d'informations sur ce produit
Vous souhaitez un devis ?
Des informations complémentaires ?
Nous vous répondrons dans un délai de 24h