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Vous êtes ici : Accueil > Produits > Profilomètre optique automatisé, grand échantillon

Profilomètre optique automatisé, grand échantillon

Instruments zeta-388

Zeta-388

1. Pour l'industrie
2. Mesure Automatisée
3. Topographie 3D haute résolution en couleur même sur échantillon transparent
4. Interférométriques : lumière blanche VSI - Nomarski - PSI

5. Épaisseur de couches minces transparentes

Le Zeta-388 offre une capacité de métrologie et d'imagerie 3D, combiné à une table d'isolation intégrée et à un système de traitement de plaquette de cassette à cassette pour des mesures entièrement automatisées. Le système est alimenté par la technologie ZDot ™, qui collecte simultanément des données 3D haute résolution et une image à mise au point infinie True Color. Le Zeta-388 prend en charge les environnements de recherche et développement et de production avec une optique multimode, un logiciel facile à utiliser, un faible coût de possession et des communications SECS / GEM.

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Applications en profilométrie optique

  • Hauteur de marche: hauteur de marche 3D de nanomètres à millimètres
  • Texture: rugosité 3D et ondulation sur des surfaces lisses à très rugueuses
  • Forme: arc et forme 3D
  • Contrainte: contrainte de film mince 2D
  • Epaisseur du film: épaisseur du film transparent de 30 nm à 100 µm
  • Inspection des défauts: capture des défauts supérieurs à 1µm
  • Vérification des défauts: les fichiers KLARF sont utilisés pour rechercher des défauts afin de mesurer la topographie en surface 3D ou de localiser les défauts.
  • Hauteur des marches
  • Épaisseur du film
  • Texture: rugosité et ondulation
  • Forme: arc et forme
  • Stress: le stress des couches minces
  • Inspection automatisée des défauts
  • Examen des défauts
  • Cellules solaires photovoltaïques
  • Emballage de semi-conducteurs et semi-conducteurs composés
  • Circuit imprimé (PCB) et PCB flexible
  • Ablation au laser
  • Microfluidique
  • Biotechnologie
  • Stockage de données
Vcsel etched pillar blue window
Film thickness
Base-si-for-paper
Diamondwire
Stress
Defect inspection
Alta 20fault 20line - version 2
Solar p-si metal-finger2
Bump 3dview
E-cubes 2 3dview-2
Laser ablation
Microfuidic flow regulator - finger 20x
Microneedle3

Industries

  • LED: diodes électroluminescentes et PSS (substrats saphir à motifs)
  • Semi-conducteur et semi-conducteur composé
  • WLCSP à semi-conducteur
  • FOWLP à semi-conducteurs (conditionnement au niveau des plaquettes ventilées)
  • PCB (circuit imprimé) et PCB flexible
  • MEMS: systèmes micro-électro-mécaniques
  • Dispositifs médicaux et dispositifs microfluidiques

Plus d'info sur les applications

- Science de surface

- Science des matériaux

- Cellules solaires

- Matériaux pour l'énergie

- Semi-conducteurs

- Polymères et Composites

- Rugosité de surface

- Revêtements

La profilométrie optique automatisée
pour grand échantillon

Le profileur optique Zeta-388 est un système de mesure de topographie de surface 3D sans contact. Le Zeta-388 s'appuie sur la capacité du Zeta-300 avec l'ajout d'un gestionnaire de cassette à cassette pour des mesures entièrement automatisées. Le système est alimenté par la technologie brevetée ZDot ™ et par une optique multi-mode, permettant de mesurer une variété d'échantillons: transparents et opaques, à réflectance faible à élevée, de texture lisse à rugueuse et de hauteurs de pas allant du nanomètre au millimètre.

Le Zeta-388 intègre six technologies de métrologie optique différentes dans un système configurable et facile à utiliser. Le mode de mesure ZDot ™ collecte simultanément une numérisation 3D haute résolution et une image à mise au point infinie True Color. D'autres techniques de mesure 3D comprennent l'interférométrie en lumière blanche, la microscopie à contraste d'interférence de Nomarski et l'interférométrie en cisaillement. L'épaisseur du film peut être mesurée avec ZDot ou un réflectomètre à large bande intégré. Le Zeta-388 est également un microscope haut de gamme pouvant être utilisé pour l'examen d'échantillons ou l'inspection automatisée des défauts. Le Zeta-388 prend en charge la R & D et les environnements de produits en fournissant des mesures complètes de hauteur, de rugosité et d'épaisseur de film, une capacité d'inspection des défauts et une manipulation cassette à cassette.

AVANTAGES

- Pour l'industrie
- Mesure Automatisée
- Topographie 3D haute résolution en couleur même sur échantillon transparent
- Interférométriques : lumière blanche VSI - Nomarski - PSI

- Épaisseur de couches minces transparentes

  • Profileur optique facile à utiliser avec les optiques ZDot et multi-mode pour une vaste gamme d'applications
  • Examen d'échantillons de microscope ou inspection de défauts de haute qualité
  • ZDot: collecte simultanément une numérisation 3D haute résolution et une image à mise au point infinie True Color
  • ZXI: Interférométrie en lumière blanche pour les mesures de zones étendues avec une résolution z élevée
  • ZIC: Contraste interférentiel pour les données 3D quantitatives de surfaces à rugosité inférieure au nanomètre
  • ZSI: interférométrie en cisaillement pour les images à haute résolution z
  • ZFT: l'épaisseur et la réflectance du film sont mesurées à l'aide d'un réflectomètre à large bande intégré
  • AOI: Contrôle optique automatique pour quantifier les défauts sur l'échantillon
  • Capacité de production: mesures entièrement automatisées avec séquençage et reconnaissance de formes
  • Manipulateur de plaquettes: chargez automatiquement des échantillons opaques (silicium, par exemple) et transparents (saphir, par exemple), de 50 à 200 mm de diamètre.
Pss bumps
Structured microfluidic channel courtesy imtek lab-for-mems-apps
Diamond disk stitched 3d

Options

Thickness
Pumplaser
Zic residue on glass
Graphene steps
Objectives - version 2
Coupler
Closeup001 - version 2
Zeta-20 piezo-pss 01
Zeta-388
Zeta-20 piezo-pss 01
Zeta-388
Vlsi si chip v2
Sequence
Lens 9x7 stitch
Options - apex software on microlens array
Solar p-si metal-finger

ZFT: Epaisseur de film Zeta

Le Zeta-388 propose un spectromètre à large bande intégré pour les mesures d'épaisseur de film mince transparent de 30 nm à 100 µm. Il est capable de mesurer l'épaisseur d'un film d'empilement monocouche ou multicouche, l'utilisateur sélectionnant les valeurs d'indice de réfraction à partir de la bibliothèque de matériaux. L'épaisseur du film peut être cartographiée sur l'échantillon pour déterminer l'uniformité de l'échantillon.

ZFT fonctionne sur certaines des surfaces les moins réfléchissantes, telles que les échantillons dont le facteur de réflexion est inférieur à 0,1%. De nombreux outils d'épaisseur de film ont du mal à obtenir un signal de ce type de surfaces, car ils dépendent de la lumière réfléchie spéculaire pour calculer le changement de phase ou d'autres paramètres. La lumière blanche à large bande et l’éclairage à incidence normale permettent à l’outil d’être utilisé pour une variété de films optiquement transparents à faible réflectance.

ZXI: interférométrie à balayage vertical Zeta

Le Zeta-388 prend en charge l'interférométrie à balayage de phase (PSI) et l'interférométrie à balayage vertical (VSI) lorsqu'il est associé à la platine piézo et à un objectif interférométrique. Le PSI permet des mesures rapides de hauteurs de pas allant de angströms à des centaines de nanomètres. Le VSI permet de mesurer des hauteurs de pas de plusieurs centaines de nanomètres à plusieurs centaines de microns. Les deux sont effectués à une résolution meilleure que le nanomètre, indépendamment de l’ouverture numérique de l’objectif.

 

ZIC: contraste d'interférence Zeta

Le Zeta-388 utilise la microscopie à contraste d'interférence différentielle Nomarski pour fournir une imagerie améliorée des détails de surface fins. La microscopie Nomarski utilise la polarisation et un prisme pour changer la phase afin d’améliorer les changements de pente sur la surface de l’échantillon. Cela permet de visualiser les défauts sur des surfaces super-lisses, telles que la monocouche d'un contaminant. Le mode de balayage ZIC peut convertir ces images en mesures quantitatives de la rugosité de niveau inférieur au nanomètre en corrélant le changement de pente avec la rugosité mesurée par une autre technique.

 

ZSI: Interféromètre à cisaillement Zeta

La technique de mesure par interféromètre de cisaillement Zeta-388 (ZSI) améliore la mesure de ZIC en ajoutant un changement de phase. Plusieurs images sont collectées avec différentes phases, puis traitées à l'aide d'algorithmes avancés pour générer une mesure quantitative de la topographie de surface avec une résolution au niveau angström. Cette technique ne nécessite pas d'objectifs interférométriques et ne comporte pas de balayage en phase Z, ce qui permet d'obtenir des mesures haute résolution allant de angströms à 80 nm.

Lentilles d'objectif

Une large gamme d'objectifs est disponible, comprenant des objectifs normaux de 1,25x à 150x, des objectifs de longue distance de travail, des objectifs de distance de travail ultra-longue, des objectifs corrigés pour l'indice de réfraction, des objectifs transmissifs, des objectifs d'immersion dans le liquide et des objectifs d'interférométrie à balayage vertical.

Coupleurs

Le Zeta-388 peut être configuré avec quatre coupleurs optiques différents pour modifier le grossissement optique. Le système peut être configuré avec le coupleur 1x pour conserver le grossissement natif ou avec des coupleurs 0,35x, 0,5x ou 0,63x pour augmenter le grossissement.

Tourelle à objectif

Le Zeta-388 peut être configuré avec une tourelle manuelle à 5 ou 6 positions et un capteur d'objectif pour l'identification d'objectif automatique. Le système peut également être configuré avec une tourelle motorisée à 6 positions pour un fonctionnement entièrement automatisé.

Échantillon d'éclairage

Le Zeta-388 utilise deux DEL blanches haute luminosité comme éclairage standard. Le rétroéclairage à travers le mandrin d'échantillons est également disponible pour améliorer la lumière des échantillons transparents difficiles, tels que les substrats en saphir à motifs (PSS). Le Zeta-388 prend également en charge l'éclairage de fond noir de côté.

 

 

Stages

Le Zeta-388 peut être configuré avec différentes étapes pour améliorer les performances du système. Un étage piézoélectrique d'axe Z peut être ajouté pour améliorer la résolution z lors de la mesure de hauteurs de pas de niveau nanométrique avec les modes de mesure ZDot ™ ou ZXI. La platine XY est motorisée et peut être configurée avec un mandrin standard, un mandrin à plaquette bombée ou un mandrin à illumination arrière.

 

Platine échantillon

Le Zeta-388 propose une gamme de platines disponibles pour répondre aux exigences des applications pour les échantillons de 50 à 200 mm, y compris des platines pour soutenir des plaquettes à archet. Des platines de rétroéclairage sont disponibles pour les substrats transparents afin de prendre en charge l'éclairage transmis, requis pour les substrats en saphir à motifs.

 

Tables d'isolation

Le Zeta-388 possède une isolation passive intégrée à la base du système. Pour les applications nécessitant une meilleure isolation, une table d'isolation active est disponible. Le Zeta-388 dispose d'une enceinte acoustique standard pour isoler le système du bruit ambiant et pour protéger l'utilisateur des mouvements du gestionnaire d'échantillons.

Normes de hauteur de marche et d'épaisseur de film

Le Zeta-388 utilise les normes de hauteur de marche traçables NIST en couches minces et épaisses proposées par les normes VLSI. Les normes comportent une marche en quartz gravé avec un revêtement en chrome. Une plage de hauteur de pas de 8 nm à 250 µm est disponible.

Une norme en plusieurs étapes certifiée disponible a des hauteurs de marche nominales de 8, 25, 50 et 100 µm. La norme comporte divers modèles de hauteur pour l’étalonnage XY. Une norme d'épaisseur de film certifiée est disponible pour ZFT. Elle comprend une surface de silicium de référence et une épaisseur nominale de film de dioxyde de silicium de 270 nm. Des échantillons de rugosité et de miroir de référence sont également disponibles.

Logiciel de séquençage automatisé

Le logiciel de séquençage automatique utilise la platine XY motorisée pour permettre à l'utilisateur de programmer les emplacements de mesure sur l'échantillon. Le système mesurera automatiquement chaque site et enregistrera les résultats dans des dossiers définis par l'utilisateur. Un rapport de sortie avec des exemples de statistiques est généré pour résumer les résultats.

Le logiciel de séquençage avancé inclut la reconnaissance de formes pour aligner automatiquement l'échantillon. Cela permet des mesures entièrement automatisées, réduisant l'impact de l'erreur de l'opérateur. L'étalonnage automatique peut également être activé lors de l'utilisation de normes intégrées sur la scène.

Logiciel d'assemblage

Le logiciel d'assemblage d'images automatisé utilise la platine XY motorisée pour combiner des numérisations adjacentes afin de générer un jeu de données assemblé plus grand qu'un seul champ de vision. Le système mesure automatiquement chaque site, aligne les images et les combine en un seul jeu de données. Les résultats peuvent être analysés comme n'importe quel autre fichier de résultats.

Logiciel d'analyse Apex

Le logiciel d’analyse Apex améliore la capacité d’analyse de données standard de l’outil avec une suite étendue de techniques d’analyse de nivellement, de filtrage, de hauteur de pas, de rugosité et de topographie de surface. Apex prend en charge les méthodes de calcul de rugosité ISO ainsi que les normes locales telles que ASME. Apex sert également de plate-forme de rédaction de rapports avec la possibilité d'ajouter du texte, des annotations et des critères de réussite / échec. Apex est proposé en huit langues.

Logiciel d'analyse hors ligne

Le logiciel hors ligne Zeta-388 possède la même capacité d'analyse des données et de création de recettes que l'outil. Cela permet à l'utilisateur de créer des recettes et d'analyser des données sans utiliser de temps précieux.

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