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Vous êtes ici : Accueil > Produits > Profilomètre mécanique du nanomètre au millimètre

Profilomètre mécanique du nanomètre au millimètre

Instruments alphastep-d-600

D600

1. Programmation des recettes pour des mesures automatisées
2. Faible force d’appuis
3. Platine 200mm
4. Rotation manuelle sur 360°

5. Aspiration centrale

6. Double détecteur optique

Le profilomètre Alpha-Step D-600 est capable de mesurer des hauteurs de marche 2D et 3D allant de quelques nanomètres à 1200 µm. Il prend également en charge les mesures 2D et 3D de la rugosité, ainsi que l’arc et la contrainte 2D pour les environnements de R & D et de production.

Le D-600 comprend une platine motorisée avec un mandrin à échantillon de 200 mm et une optique de pointe dotée de commandes vidéo améliorées.

Profilomètrie mécanique

Instruments tencor-p-17

P17 : Profilomètre mécanique pour l'industrie et R&D >>

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Applications en profilométrie mécanique

  • Hauteur de marche: hauteur de marche 2D et 3D
  • Texture: rugosité et ondulation 2D et 3D
  • Forme: arc et forme 2D et 3D
  • Stress: Contrainte de film mince 2D et 3D
  • Examen des défauts: topographie de la surface des défauts 2D et 3D
  •  Industries
    • Universités, laboratoires de recherche et instituts
    • Semi-conducteur et semi-conducteur composé
    • LED: diodes électroluminescentes
    • Solaire
    • MEMS: systèmes micro-électro-mécaniques
    • Stockage de données
    • Automobile
    • Équipement médical
      
      
Application - bow
Application - consumer packaging surface roughness
Application - patterned glass step height alt
Industry - video with solar cell roughness
Application - 450um step height

Plus d'info sur les applications

- Hauteur des marches

- Texture: rugosité et ondulation

- Forme: arc et forme

- Stress en couche mince 2D et 3D

La profilométrie du nm au mm

Le profilomètre Alpha-Step D-600 prend en charge les mesures 2D et 3D de la hauteur et de la rugosité des pas, ainsi que l’arc et la contrainte 2D. La technologie innovante de capteur à levier optique offre des mesures haute résolution, une large plage verticale et une capacité de mesure de force réduite.

Un avantage de la technique de mesure au stylet est qu’il s’agit d’une mesure directe, indépendante des propriétés du matériau. La force réglable et le choix du stylet permettent de mesurer avec précision une grande variété de structures et de matériaux. Cela permet de quantifier votre processus pour déterminer la quantité de matériau ajouté ou retiré, ainsi que tout changement de structure en mesurant la rugosité et les contraintes.

AVANTAGES

- Programmation des recettes pour des mesures automatisées
- Faible force d’appuis
- Platine 200mm
- Rotation manuelle sur 360°

- Aspiration centrale

- Double détecteur optique

 

  • Hauteur de marche: Nanomètres à 1200µm
  • Force faible: 0,03 à 15 mg
  • Vidéo: Caméra couleur haute résolution 5MP
  • Correction de la distorsion trapézoïdale: supprime la distorsion due à l'optique vue de côté
  • Correction d'arc: supprime les erreurs dues au mouvement d'arc du stylet
  • Taille compacte: faible encombrement du système
  • Logiciel: interface utilisateur conviviale
Sequence runtime cmp white-background

Simulateur Stylet/ Canaux

Simulateur-stylet-canaux

Aller au simulateur >>

Options

Stylus - sem of submicron har stylus2 zoom - background removed
200 mm universal chuck v2
Options - herzan isolation table
Vlsi si chip v2
Options - apex software on microlens array
Options - alpha-step offline software

Options de stylet

L'Alpha-Step D-600 propose une variété de stylets disponibles pour prendre en charge la mesure de la hauteur des marches, des marches avec un ratio d'aspect élevé, de la rugosité, de l'archet de l'échantillon et du stress. Le rayon de la pointe est compris entre 100 nm et 50 µm et détermine la résolution latérale de la mesure. L'angle inclus va de 20 à 100 degrés, ce qui spécifie le rapport de format maximal de la caractéristique mesurée. Tous les stylets sont fabriqués à partir de diamant pour réduire l'usure et augmenter la durée de vie du stylet.

Platine porte échantillon

L'Alpha-Step D-600 dispose d'une gamme de mandrins disponibles pour répondre aux besoins des applications. Le mandrin standard est un mandrin sous vide en aluminium nickelé pour des échantillons allant jusqu'à 200 mm. Un mandrin universel pour le vide est également offert et comprend des broches de localisation de précision pour les échantillons de 50 mm à 200 mm. Les deux options prennent en charge les mesures de contrainte avec des localisateurs à 3 points pour maintenir l'échantillon dans une position neutre pour des mesures d'archet précises.

 

Tables d'isolation

L'Alpha-Step D-600 propose des options de table d'isolation de table et autonome. La série Granite Isolator ™ propose des systèmes d'isolation de table associant du granit à un gel de silicone de haute qualité pour fournir une isolation passive. Les systèmes d'isolation de table de la série Onyz utilisent des isolateurs pneumatiques pour assurer une isolation passive. La table d'isolation de la série TMC 63-500 est une table autonome à cadre en acier qui utilise des isolateurs pneumatiques pour assurer une isolation passive.

 

Hauteur de marche

L’Alpha-Step D-600 utilise les normes de hauteur de marche traçables NIST en couches minces et épaisses proposées par les normes VLSI. Les normes comportent une étape d'oxyde sur une matrice de silicium montée sur un bloc de quartz. Une plage de hauteur de pas de 8 nm à 250 µm est disponible.


 

Logiciel d'analyse Apex

Le logiciel d'analyse Apex améliore la capacité d'analyse de données standard du D-500 avec une suite étendue de techniques d'analyse de nivellement, de filtrage, de hauteur de pas, de rugosité et de topographie de surface. Apex prend en charge les méthodes de calcul de rugosité ISO, ainsi que les normes locales telles que ASME. Apex peut également servir de plate-forme de rédaction de rapports avec la possibilité d'ajouter du texte, des annotations et des critères de réussite / échec. Apex est proposé en huit langues.

Logiciel d'analyse hors ligne

Le logiciel hors ligne Alpha-Step D-600 dispose de la même capacité d'analyse de données que l'outil. Cela permet à l'utilisateur d'analyser des données sans utiliser le temps précieux de l'outil.


 

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