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Vous êtes ici : Accueil > Produits > Profilomètre mécanique au meilleur rapport qualité/prix

Profilomètre mécanique au meilleur rapport qualité/prix

Instruments tencor-p-7

P7

1. Hauteur des marches de quelques nanomètres à un millimètre
2. Production et R&D
3. Platine 150mm
4. Rotation manuelle sur 360°

5. Mesures 2D et 3D

6. Rugosité, archet et de contraintes

Le P-7 s'appuie sur le succès du système de profilage de stylet de table P-17, leader sur le marché. Il intègre les performances de mesure supérieures de la technologie P-17 dans une plate-forme offrant un excellent rapport prix / fonctionnalités pour un profilomètre mécanique de table. Le P-7 offre une capacité de mesure de la hauteur des marches de quelques nanomètres à un millimètre, pour les environnements de production et de recherche et développement.

Le système prend en charge les mesures 2D et 3D de hauteurs de pas, de rugosité, d'archet et de contraintes pour des numérisations allant jusqu'à 150 mm sans couture.

Profilomètrie mécanique

Instruments tencor-p-17

P17 : Profilomètre mécanique pour l'industrie et R&D >>

Instruments alphastep-d-600

D600 : Profilomètre mécanique de précision sub-micronique >>

Instruments alphastep-d-500

D500 : Profilomètremécanique 2D >>

Standard-calibration

Standards de calibration : étalonnage profilomètre >>

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Applications en profilométrie mécanique

  • Hauteur de marche: hauteur de marche 2D et 3D
  • Texture: rugosité et ondulation 2D et 3D
  • Forme: arc et forme 2D et 3D
  • Stress: Contrainte de film mince 2D et 3D
  • Examen des défauts: topographie de la surface des défauts 2D et 3D
  •  Industries
    • Universités, laboratoires de recherche et instituts
    • Semi-conducteur et semi-conducteur composé
    • LED: diodes électroluminescentes
    • Solaire
    • MEMS: systèmes micro-électro-mécaniques
    • Stockage de données
    • Automobile
    • Équipement médical
      
      
Application - bow
3d p-7 82nm sims
Sharp ta-to-pdms
Solar cell
Touch screen bump

Plus d'info sur les applications

- Hauteur des marches

- Texture: rugosité et ondulation

- Forme: arc et forme

- Stress en couche mince 2D et 3D

La profilométrie au meilleur rapport qualité/prix

Le P-7 s'appuie sur le succès du système de profilage de stylet de table P-17, leader sur le marché. Il intègre les performances de mesure supérieures de la technologie P-17 dans une plate-forme offrant un excellent rapport prix / fonctionnalités pour un profileur de stylet de table. Le profileur de stylet P-7 prend en charge les mesures 2D et 3D de hauteurs de pas, de rugosité, d'archet et de contraintes pour des numérisations allant jusqu'à 150 mm sans couture.

AVANTAGES

- Hauteur des marches de quelques nanomètres à un millimètre
- Production et R&D
- Platine 150mm
- Rotation est manuelle sur 360°

- lMesures 2D et 3D

- Rugosité, archet et de contraintes

  • Hauteur de marche: Nanomètres jusqu'à 1000 µm
  • Force faible avec contrôle de la force constante: 0,03 à 50 mg
  • Scannez le diamètre complet de l'échantillon sans coudre
  • Vidéo: Caméra couleur haute résolution 5MP
  • Correction d'arc: supprime les erreurs dues au mouvement d'arc du stylet
  • Logiciel: interface logicielle facile à utiliser
  • Capacité de production: Entièrement automatisée avec séquençage, reconnaissance de formes et SECS / GEM
Sequence runtime cmp white-background

Simulateur Stylet/ canaux

Simulateur-stylet-canaux

Aller au simulateur >>

Options

Stylus - sem of submicron har stylus2 zoom - background removed
200 mm universal chuck v2
Options - tmc isolation table
Vlsi si chip v2
Options - apex software on microlens array
Specsheet analysis
Pattern rec
Nanosuite

Options de stylet

Le P-7 propose une variété de stylets disponibles pour prendre en charge la mesure de la hauteur des marches, des marches avec un ratio d'aspect élevé, de la rugosité, de la courbure de l'échantillon et des contraintes. Le rayon de la pointe est compris entre 100 nm et 50 µm et détermine la résolution latérale de la mesure. L'angle inclus va de 20 à 100 degrés, ce qui spécifie le rapport de format maximal de la caractéristique mesurée. Tous les stylets sont fabriqués à partir de diamant pour réduire l'usure et augmenter la durée de vie du stylet.

Platine porte échantillon

Le P-7 dispose d'une gamme de mandrins disponibles pour répondre aux besoins des applications. La norme est un mandrin universel à vide avec des goupilles de positionnement de précision pour les échantillons de 50 à 150 mm. Le mandrin universel prend en charge les mesures d'arc et de contrainte avec des localisateurs à 3 points pour soutenir l'échantillon dans une position neutre. Des options supplémentaires pour les échantillons solaires et des mandrins universels de 200 mm sont disponibles.

 

Tables d'isolation

Le P-7 offre à la fois des options de table et de table d'isolation autonome. La série Granite Isolator ™ propose des systèmes de table associant du granit à un gel de silicone de haute qualité pour assurer une isolation passive. Les systèmes d'isolation de table de la série Onyz utilisent des isolateurs pneumatiques pour assurer une isolation passive. La table d'isolation de la série TMC 63-500 est une table autonome à cadre en acier qui utilise des isolateurs pneumatiques pour assurer une isolation passive.

Hauteur de marche

Le P-7 utilise des étalons de hauteur de marche traçables au NIST, à couche mince et épaisse, proposés par les normes VLSI. Les normes comprennent une étape en oxyde sur une matrice en silicium montée sur un bloc de quartz ou une étape en quartz gravée avec un revêtement en chrome. Une plage de hauteur de pas de 8 nm à 250 µm est disponible.

 

Logiciel d'analyse Apex

Le logiciel d'analyse Apex améliore la capacité d'analyse de données standard du P-7 avec une suite étendue de techniques d'analyse de nivellement, de filtrage, de hauteur d'étage, de rugosité et de topographie de surface. Apex prend en charge les méthodes de calcul de rugosité ISO, ainsi que les normes locales telles que ASME. Apex peut également servir de plate-forme de rédaction de rapports avec la possibilité d'ajouter du texte, des annotations et des critères de réussite / échec. Apex est proposé en huit langues.

Logiciel d'analyse hors ligne

Le logiciel hors ligne P-7 dispose de la même capacité d'analyse des données et de création de recettes que l'outil. Cela permet à l'utilisateur de créer des recettes et d'analyser des données sans utiliser de temps précieux.

 

La reconnaissance de formes

La reconnaissance de motif utilise des motifs pré-enseignés pour aligner automatiquement l'échantillon. Cela permet des mesures entièrement automatisées pour une stabilité accrue des mesures en réduisant l'impact des erreurs de l'opérateur. La reconnaissance des formes, associée à des étalonnages avancés, réduit les erreurs de positionnement et permet un transfert transparent des recettes entre les systèmes.

 

 

 

 

SECS / GEM et HSMS

Les communications SECS / GEM et HSMS prennent en charge les systèmes d'automatisation d'usine et permettent le contrôle à distance du P-7. Les résultats des mesures sont automatiquement rapportés aux systèmes SPC hôtes, ainsi que les alarmes et les principales données d'étalonnage / configuration. Le P-7 est conforme aux normes SEMI E4, E5, E30 et E37.

 

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