Nanoindenteurs
La nano-indentation est une technique de caractérisation de propriétés mécaniques locales de surface en relation avec les microstructures de films minces ou de matériaux en volume. Dans cette technique, une petite charge est appliquée à une pointe étroite de géométrie connue qui s’enfonce peu profondément dans le matériau. La profondeur de pénétration est enregistrée en fonction de la charge. Les informations recueillies permettent ensuite de déterminer la nano-dureté, le module d’Young, la résistance à l’usure de l’échantillon.
KLA propose une gamme complète de testeurs nanomécaniques à haut débit pour la caractérisation des matériaux et les besoins en contrôle de processus. Avec des options d’ajout et de mise à niveau flexibles, ses nanoindenteurs peuvent être utilisés pour une large gamme de mesures à l’échelle nanométrique, notamment la dureté, le module d'Young et l’adhérence.
