Profilomètre mécanique 2D

Instruments alphastep-d-500

D500

1. Profilométrie 2D
2. Platine 150mm
3. Motorisation XY et rotation manuelles sur 360°
4. Faible force d'appuis

5. Double détecteur optique

Le profilomètre mécanique Alpha-Step D-500 est capable de mesurer des hauteurs de pas 2D allant de quelques nanomètres à 1200 µm. Il prend également en charge les mesures 2D de la rugosité, de l'arc et des contraintes pour les environnements de R & D et de production. Le D-500 prend également en charge les mesures 2D de la rugosité, de l’arc et des contraintes pour les environnements de recherche et développement et de production. Le D-500 comprend une platine manuelle de 140 mm et une optique de pointe dotée de commandes vidéo améliorées.

Profilomètrie mécanique

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Applications Caractéristiques Options
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Applications en profilométrie mécanique

  • Hauteur de marche: hauteur de marche 2D
  • Texture: rugosité et ondulation 2D
  • Forme: arc et forme 2D
  • Contrainte: contrainte de film mince 2D
  •  Industries
    • Universités, laboratoires de recherche et instituts
    • Semi-conducteur et semi-conducteur composé
    • LED: diodes électroluminescentes
    • Solaire
    • MEMS: systèmes micro-électro-mécaniques
    • Stockage de données
    • Automobile
    • Équipement médical 
      

      

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			Application - patterned glass step height

																								
				

					


																					
																					
					

				
 
																																													

																					

																					

		

																				
																						
			Application - roughness

																								
				

					


																					
																					
					

				
 
																																													

																					

																					

		

																				
																						
			Application - 50 nm pt step height

																								
				

					


																					
																					
					

				
 
																																													

																					

																				

	







			

	

	

		

	
Plus d'info sur les applications





	





	

		

	
- Hauteur des marches 


- Texture: rugosité et ondulation 


- Forme: arc et forme 


- Stress en couche mince 2D





	







	

		

	





	

								

		


			

	

	

		

	
La profilométrie 2D



	







	




			

	

	

		

	
Le profilomètre mécanique Alpha-Step D-500 prend en charge les mesures 2D de la hauteur des marches, de la rugosité, de l’arc et des contraintes. La technologie innovante de capteur à levier optique offre des mesures haute résolution, une large plage verticale et une capacité de mesure de force réduite.


Un avantage de la technique de mesure au stylet est qu’il s’agit d’une mesure directe, indépendante des propriétés du matériau. La force réglable et le choix du stylet permettent de mesurer avec précision une grande variété de structures et de matériaux. Cela permet de quantifier votre processus pour déterminer la quantité de matériau ajouté ou retiré, ainsi que tout changement de structure en mesurant la rugosité et les contraintes.



	







			

	



			

	

	

		

	
AVANTAGES



	





	

		

	
- Profilométrie 2D

- Platine 150mm

- Motorisation XY et rotation manuelles sur 360°

- Faible force d'appuis


- Double détecteur optique



	







	





	




			

	

	

		

	
    

  • Hauteur de marche: Nanomètres à 1200µm
    

    • 

  • Force faible: 0,03 à 15 mg
    

    • 

  • Vidéo: Caméra couleur haute résolution 5MP
    

    • 

  • Correction de la distorsion trapézoïdale: supprime la distorsion due à l'optique vue de côté
    

    • 

  • Correction d'arc: supprime les erreurs dues au mouvement d'arc du stylet
    

    • 

  • Taille compacte: encombrement système minimal pour un profileur de stylet de table
    

    • 

  • Logiciel: interface utilisateur conviviale
    • 




	







			

	

	

		

	

				Application - 300 nm diode step height
					

	

	







			

	

	

		

	

				
					

	

	





	

		

	
Simulateur Stylet/ Canaux



	





	

		

	

				Simulateur-stylet-canaux
					

	

	





	

		

	
Aller au simulateur >>



	







	

		

	





	

								

		


			

	

	

		

	
Options



	







			

	



	

		

	





	

								

		


			

	

	

		

	

				Stylus - sem of submicron har stylus2 zoom - background removed
					

	

	





	

		

	





	

		

	

				D-500 stage v6 - zoom
					

	

	





	

		

	





	

		

	

				Options - herzan isolation table
					

	

	





	

		

	





	

		

	

				Vlsi si chip v2
					

	

	





	

		

	





	

		

	

				Options - apex software on microlens array
					

	

	





	

		

	





	

		

	

				Options - alpha-step offline software
					

	

	







			

	

	

		

	
Options de stylet


L'Alpha-Step D-500 propose une variété de stylets disponibles pour prendre en charge la mesure de la hauteur des marches, des marches avec un ratio d'aspect élevé, de la rugosité, de l'archet de l'échantillon et du stress. Le rayon de la pointe est compris entre 100 nm et 50 µm et détermine la résolution latérale de la mesure. L'angle inclus, compris entre 20 et 100 degrés, spécifie le rapport de format maximal de la caractéristique mesurée. Tous les stylets sont fabriqués à partir de diamant pour réduire l'usure et augmenter la durée de vie du stylet.



	





	

		

	





	

		

	
Platine porte échantillon






L'Alpha-Step D-500 dispose d'une gamme de mandrins disponibles pour répondre aux besoins des applications. Le mandrin standard est un mandrin en aluminium nickelé pour des échantillons allant jusqu'à 140 mm. Un mandrin noir mat est disponible pour les échantillons transparents afin de minimiser la réflexion de la surface du mandrin. Un mandrin universel pour le vide est également offert et comprend des broches de localisation de précision pour les échantillons de 50 mm à 125 mm. Les mandrins standard et universels prennent en charge les mesures de contrainte avec des localisateurs à 3 points pour maintenir l'échantillon dans une position neutre pour des mesures d'archet précises.






 



	





	

		

	





	

		

	
Tables d'isolation




L'Alpha-Step D-500 propose des options de table d'isolation de table et autonome. La série Granite Isolator ™ propose des systèmes d'isolation de table associant du granit à un gel de silicone de haute qualité pour fournir une isolation passive. Les systèmes d'isolation de table de la série Onyz utilisent des isolateurs pneumatiques pour assurer une isolation passive. La table d'isolation de la série TMC 63-500 est une table autonome à cadre en acier qui utilise des isolateurs pneumatiques pour assurer une isolation passive.




 



	





	

		

	





	

		

	
Hauteur de marche










L’Alpha-Step D-500 utilise les normes de hauteur de marche traçables NIST en couches minces et épaisses proposées par les normes VLSI. Les normes comportent une étape d'oxyde sur une matrice de silicium montée sur un bloc de quartz. Une plage de hauteur de pas de 8 nm à 250 µm est disponible.




 






 



	





	

		

	





	

		

	
Logiciel d'analyse Apex




Le logiciel d'analyse Apex améliore la capacité d'analyse de données standard du D-500 avec une suite étendue de techniques d'analyse de nivellement, de filtrage, de hauteur de pas, de rugosité et de topographie de surface. Apex prend en charge les méthodes de calcul de rugosité ISO, ainsi que les normes locales telles que ASME. Apex peut également servir de plate-forme de rédaction de rapports avec la possibilité d'ajouter du texte, des annotations et des critères de réussite / échec. Apex est proposé en huit langues.





	





	

		

	





	

		

	
Logiciel d'analyse hors ligne








Le logiciel hors ligne Alpha-Step D-500 dispose de la même capacité d'analyse de données que l'outil. Cela permet à l'utilisateur d'analyser des données sans utiliser le temps précieux de l'outil.




 






 



	







			

	

	

		

	

				
					

	

	





	

		

	

	







	

		

	





	

								

		


			

	

	

		

	
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