Profilomètres Mécaniques
La profilométrie mécanique est une technique de mesure de profil de surface avec contact par balayage d’un stylet (fine pointe en diamant) sur l’échantillon. Les profils mesurés permettent l’analyse de forme, d’états de surface (rugosité, ondulation, texturation), de topographier en XYZ (relief 3D de surface), de quantifier des marches et canaux, de caractériser une contrainte de surface (Stress 2D/3D). Précis et répétable à quelques Angstrom en Z et pouvant accueillir des échantillons larges jusqu’à 500x500mm. Découvrez nos solutions avec les gammes de KLA Tencor et de Toho Technology.
Le P-17 est le meilleur profilomètre de la série P conçu par KLA , un condensé de savoir-faire de plusieurs décennies spécialement adapté aux demandes de l’Industrie. Le plus performant et efficace des profilomètres, le P-17 possède un bon nombre de caractéristiques uniques qui le rendent imbattable sur le marché des profilomètres haute résolution pour la R&D et l’Industrie. Le P17 est une version entièrement motorisée et automatisable.
Profilomètre compact, il s’agit de la version allégée du P17, proposant ainsi le meilleur de la technologie KLA à moindre coût et répondant à la majorité des besoins de métrologie de surface. Il est doté d’une platine 150mm, motorisé en XY. La rotation est manuelle sur 360°. Le P-7 est un outil de métrologie particulièrement apprécié en Contrôle Qualité pour la Recherche et l’Industrie.
La série D de KLA regroupe les profilomètres dédiés à la R&D. Le profilomètre D600 permet la mesure et l’analyse de profil 2D et 3D. Il est équipé d’une platine 200mm avec motorisation des déplacements XY, avec rotation manuelle à 360° et d’une aspiration centrale. En standard, il possède déjà un double détecteur optique permettant une gamme de mesure verticale de 0-1200µm avec une précision sub-nanométrique et une faible force d’appuis réglable (0.03 à15 mg).
La série D de KLA regroupe les profilomètres dédiés à la R&D. Le profilomètre D500 permet la mesure et l’analyse de profil 2D. Il est équipé d’une platine 150mm avec déplacement XY et rotation manuelle. En standard, il possède déjà un double détecteur optique permettant une gamme de mesure verticale de 0-1200µm avec une précision sub-nanométrique et une faible force d’appuie réglable (0.03 à15 mg). Très apprécié pour la mesure de dépôt/gravure ou de structure.
Cette norme d’étalonnage polyvalente est conçue pour l’étalonnage de profileurs AFM, SEM, optiques et mécaniques. Les caractéristiques comprennent les hauteurs des marches, les lignes, les grilles, la boîte de grossissement et les structures de mesure de tons différents Les caractéristiques sont gravées dans SiO2 et Si et sont disponibles en option avec un revêtement métallique pour une réflectivité améliorée et des charges statiques réduites.