Microscope DHM pour l’Industrie
DHM R100 & R200
1. Adapté aux applications industrielles
2. L'échantillon peut être mesuré en vol
3. Compacts et légers avec une résolution interférométrique
Les séries industrielles DHM® R100 et R200 sont des profilomètres optiques 3D compacts et légers avec une résolution interférométrique. Ils peuvent être montés sur des bras de robot et des convoyeurs à portique, et peuvent être facilement intégrés dans des machines multifonctionnelles spéciales. Comme pour les autres produits Lyncée DHM®, la technologie de mesure diffère fondamentalement des autres profilomètres optiques par la non-exigence du balayage vertical et horizontal. Les informations 3D sont acquises instantanément sur tout le champ de vision et à la fréquence d'images de la caméra.
Mesures dynamiques
Applications
Ces têtes de capteur sont déjà utilisées dans le domaine de l'affichage, des semi-conducteurs, de la micro-optique et de la métrologie industrielle. Le DHM industriel peut également être utilisé pour des applications de R&D et est compatible avec notre solution d'acquisition stroboscopique pulsée laser MEMS.
Plus d'info sur les applications
- Topographie de surface
- Finition de surface
- Inspection des défauts
- Film mince structuré
- Mesure MEMS
La DHM pensée pour l'industrie
- L'échantillon peut être mesuré en vol, sans arrêter l'échantillon
- Le temps d'exposition est très court, jusqu'à la microseconde, ce qui rend la mesure extrêmement robuste contre les vibrations environnementales
- Un temps d'acquisition court et une fréquence d'images élevée nous permettent de caractériser de grandes surfaces en très peu de temps et d'effectuer un contrôle de qualité à haut débit
- L'absence de mécanisme de balayage rend le système très robuste avec un temps moyen entre pannes (MTBF) important
- L'étalonnage vertical repose sur la stabilité de la longueur d'onde laser parfaitement contrôlée, assurant la tractabilité de la métrologie et j'exempte de non-linéarité de balayage et de dérives à long terme.
Les têtes DHM peuvent fonctionner en réflexion avec une (série R100) ou deux longueurs d'onde (série R200). Ils sont équipés d'un seul objectif ou d'un changeur d'objectif motorisé linéaire rapide. Les systèmes peuvent être contrôlés soit par la suite logicielle de propriété Lyncée Tec, soit en utilisant le kit de développement logiciel (SDK) Lyncée pour intégrer la technologie Lyncée DHM® dans votre propre logiciel.
AVANTAGES
- Adapté aux applications industrielles
- L'échantillon peut être mesuré en vol
- Compacts et légers avec une résolution interférométrique
Spécifications
Spécifications
| R100 | R200 | |
| Number of operating wavelength | 1 | 2 |
| Vertical range for steps measurements | 300 nm | 2 μm (other ranges available on demand) |
| Vertical resolution | Same as R1000 and 2100 series | |
| Objective magnification | 1.25x to 100x | 1.25x to 100x |
| Lateral resolution, working distance, field of view | Objective dependant: contact us | |
| Objective changeability | Optional on R100-MO and R200-MO | |
| Motorized objective changer | Linear – Optional | Linear – Optional |
| Camera | 1 Mpx/ 190 fps | 1 Mpx/ 190 fps |
| Additional external optical port | Optional | Optional |
| DHM head Weight [kg] | 4 | 5 |
| DHM head Size [mm xmm x mm] |
370 x 127 x 86 | 370 x 127 x 86 |
| External laser box size [mm x mm x mm] |
140 x 240 x 500 | |
| Stroboscopic compatibility | Yes | Yes |
| Compatibility with standard Lyncée stands | Yes | Yes |
| Measurement through optical window | Yes | Yes |
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