Inspection de wafer

Lens-Less sensor

Inspection de wafer


 

 

 

Le Lens-less sensor est un microscope à holographie digitale à champ de vue fixe. Cette conception unique brevetée est robuste et idéale pour les applications industrielles.
La configuration en réflexion permet la mesure de la topographie 3D avec une résolution sub-nanométrique.

L'holographie numérique offre des avantages significatifs par rapport aux autres. Profilomètre optique 3D :

  • Mesure ultra-rapide (temps réel)
  • Focalisation automatique ne nécessite aucun déplacement mécanique
  • Mesure verticale en absolue donnée par la longueur d'onde du laser pour la référence de hauteur : aucun inconvénient des mécanismes de balayage
  • Insensible aux vibrations environnantes

 

 

Conçu pour le contrôle qualité automatisé

  • Logiciel intelligent : programmation en séquence
  • Design compact pour une intégration facile
  • Affichage des résultats en temps réel
  • Entretien facile : caméra et source laser externes
  • Espace de travail pouvant accueillir de large échantillon

Adapté à vos besoins

  • Configuration à une ou deux longueurs d'onde
  • Source laser à longue cohérence sur demande
  • Capteur haute résolution sur demande

 

 

Specifications


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  • Field of view : 6mm x 6mm
  • Lateral resolution : 10 um
  • Vertical resolution : 0.5 nm
  • Working distance : 10 mm
  • Acceptance angle : 0.8°
  • CMOS Camera : 4 Mp


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