Microscope électronique à balayage, MEB, EM-30 AX Plus

Microscope Electronique à Balayage
EM-30AX Plus

 

SEM

Le microscope électronique à balayage de table EM-30AX Plus propose la plus haute résolution spatiale du marché. Ce microscope offre la plus grande facilité d’utilisation du marché. De plus, son porte échantillon spécial permet aux utilisateurs d'observer jusqu'à 7 échantillons en même temps. L’ensemble de ces paramètres font de ce MEB de table une solution complète et adaptée à vos besoins.

 

 

Microscope MEB de table, Solution complète MEB-EDS avancée EM-30Ax Plus


 

1. MEB-EDS tout en un
2. Interface utilisateur intuitive
3. Fonctions automatiques
- Support échantillon motorisé selon 3 axes (X, Y, T)
- Mise au point automatique, contraste, luminosité, alignement du canon à électron
4. Taille maximum d'échantillon jusqu'à 60mm en diamètre et 45mm en hauteur
5. Grossissement de x20 à x150 000
6. Navigation facile avec le «Navigation Mode»
7. Contrôle précis avec un joystick et le «Driving Mode»
8. Détecteur BSE intégré et mode LV (Low Vacuum) disponible


 

Specification


 

Magnification

x20 ~ x150,000 (Effective :~ x80,000)

Accelerating Voltage

1kV to 30kV

Electron Gun

Tungsten Filament(w)

Detector

SE Detector, BSE Detector, EDS

Stage

X: 35mm (Motorized),Y: 35mm (Motorized)
T: 0 to 45° (Motorized),R: 360° ,Z: 5 to 50mm(Manual)

Maximum Sample Size

45mm (H),60mm (Diameter)

Image Mode(pixel)

· RDE (320x240), TV (640x480), Slow (800x600)
· Photo (1280x960, 2560x1920, 5120x3840)

Frame Rate

· RDE (MAX. 30 frames/sec)
· TV (MAX. 10 frames/sec)
· Slow (MAX. 2 frames/sec)

Vacuum System

Turbo Molecular Pump (Less than 3min)

Auto Functions

Auto Focus, Contrast, Brightness, Filament, Start

OS

· Windows7

Operation

Keyboard/Mouse/Joystick

Special Features

· Navigation View
· Special Multi Sample Holder
· Signal Mixing (SE+BSE)Dual Display(SE/BSE)
· Integrated BSE(Compo, Topo)
· Line Profile
· Image Process
· Measurement Tool
· Remote Control

Options

Low Vacuum, Cool Stage

Dimension

400 (W) x 600(L) x 550 (H)mm,95kg

 

 

EDS Specification


 

System Resolution

Mn K 133eV standard 129 eV premium

Chip Size

30 mm²

Window

Si3N4 <100 nm thick

Cooling System

Peltier

Detection Range

Be to Am

X-ray Input

1 Mcps/channel

Throughput (Stored Counts)

300 kcps/channel

Peak To Background

10,000 : 1

Resolution Stability

90% up to 200 kcps

eV/Channel

10 eV/ch

Power Requirements

· 5 W max - detector only
· 10 W max - with DPP box

Input Voltage

· 100 - 240 VAC.
· 47 - 63 Hz

Operating Conditions

· 5° to 50° C; Altitude up to · 4000m · 20-80% RH non-condensing

S/W Functions

Point&ID, Line Scan, Mapping

 

Plus d'information sur les options EDS, cliquez ici

 

Application


• Semi-conducteurs et électronique
• Chimie
• Métaux
• Énergie
• Automobile
• Avionique
• Construction
• Corps humain
• Médicaments pharmaceutiques
• Plantes et animaux
• Microbiologie
• Science de l'environnement


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