Microscope électronique à balayage, MEB, EM-30 Plus

Microscope Electronique à Balayage
EM-30 Plus

 


Le microscope EM-30 Plus offre la meilleure résolution spatiale ainsi que la plus grande facilité d’utilisation du marché. Le MEB de table EM-30 Plus offre la solution la plus adaptée pour l’acquisition d’images à haute résolution.

 

 

Microscope MEB de table, Solution d’imagerie à haute résolution


 

1. Interface utilisateur intuitive
2. Fonctions automatiques
- Support échantillon motorisé selon 3 axes (X, Y, T)
- Mise au point automatique, contraste, luminosité, alignement du canon à électron
3. Taille maximum d'échantillon jusqu'à 60mm en diamètre et 45mm en hauteur
4. Grossissement de x20 à x150 000 (Résolution inférieur à 5nm à 30kV)
5. Navigation facile avec le «Navigation Mode»
6. Contrôle précis avec un joystick et le «Driving Mode»
7. Détecteur BSE intégré et mode LV (Low Vacuum) disponible

 

Specification


 

Magnification

x20 ~ x150,000 (Effective :~ x80,000)

Accelerating Voltage

1kV to 30kV

Electron Gun

Tungsten Filament(w)

Detector

SE Detector, BSE Detector

EM-30 Stage

X: 35mm (Motorized),Y: 35mm (Motorized)
T: 0 to 45° (Motorized),R: 360° ,Z: 5 to 50mm(Manual)

Maxium Sample Size

45mm (H),60mm (Diameter)

Image Mode(pixel)

· RDE (320x240), TV (640x480), Slow (800x600)
· Photo (1280x960, 2560x1920, 5120x3840)

Frame Rate

· RDE (MAX. 30 frames/sec)
· TV (MAX. 10 frames/sec)
· Slow (MAX. 2 frames/sec)

Vacuum System

Turbo Molecular Pump (Less than 3min)

Auto Functions

Auto Focus, Contrast, Brightness, Filament, Start

OS

· Windows7

Operation

Keyboard/Mouse/Joystick

Special Features

· Navigation View
· Special Multi Sample Holder
· Signal Mixing (SE+BSE)
· Dual Display(SE/BSE)
· Integrated BSE(Compo, Topo)
· Line Profile
· Image Process
· Measurement Tool
· Remote Control

Options

Low Vacuum, Cool Stage

Dimension

400 (W) x 600(L) x 550 (H)mm,85kg

 

 

Application


• Semi-conducteurs et électronique
• Chimie
• Métaux
• Énergie
• Automobile
• Avionique
• Construction
• Corps humain
• Médicaments pharmaceutiques
• Plantes et animaux
• Microbiologie
• Science de l'environnement


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