Microscope électronique à balayage, MEB, CX-200plus

Microscope Electronique à Balayage
CX-200plus

 


Le CX-200plus est un microscope électronique à balayage de taille standard dédié à tous les utilisateurs, débutants et expérimentés afin de répondre à toutes les exigences, que ce soit de recherche ou de contrôle de la qualité.

 

 

 

 

Description


 

La configuration standard du microscope COXEM CX-200plus comprend à la fois des détecteurs d'imagerie SE et BSE ainsi qu'une caméra de vision interne directement dans la chambre pour des réglages faciles de l’inclinaison et de la hauteur de l’échantillon.
Le CX-200plus offre des capacités d'imagerie haute résolution à un prix très attractif. Après avoir évalué le CX-200plus, votre recherche de la solution la plus rentable et la plus performante sera une décision facile.
Le CX-200plus est disponible avec de nombreuses options d'analyse :

Des capacités d'analyse automatisées pour les caractéristiques et les particules sont disponibles via nos partenaires EDS.
Le CX-200plus propose également un mode « Panorama » unique qui permet au microscope de collecter des images haute résolution d'échantillons volumineux. La platine motorisée du microscope est directement gérée par le microscope, ce qui lui permet de faire une mosaïque d’images qui sont ensuite fusionnées pour reconstruire l’image globale. Cette fonctionnalité est très utile pour des applications telles que l'examen détaillé d’échantillons ou la métrologie de semi-conducteurs et d'ensembles électroniques, ainsi que pour la production d'images pour la communication telles que pouvant être imprimées sous forme des revues scientifiques, des présentations de résultats ou des posters.

 

Capacité d'imagerie


 

 

Logiciel


 

Le CX-200Plus est fourni avec la nouvelle version du logiciel NanoStation 4.0. Ce logiciel offre à l’utilisateur novice une interface simple et conviviale, tout en lui donnant accès à toutes les fonctionnalités. Tandis que l’utilisateur confirmé peut facilement accéder à des fonctionnalités permettant un contrôle accru des fonctions du microscope. Ce logiciel intuitif permet aux utilisateurs de visualiser leurs échantillons et d’enregistrer des images à très haute résolution rapidement et facilement.
Ce logiciel peut être décrit de la manière suivante : Dans le coin inférieur gauche, la vue de la caméra ou le schéma du porte-échantillon. Dans le coin supérieur gauche de l'interface, la mini-carte est une image collectée au plus faible grossissement souhaité afin de vous situer sur l’échantillon. Lorsque l'utilisateur navigue vers un autre emplacement sur l'échantillon et à des grossissements plus élevés, l'emplacement du champ de vision actuel est indiqué sur la mini carte (rectangle jaune).

En plus des raccourcis clavier préférés par les utilisateurs avancés pour certaines fonctions telles que la mise au point, le logiciel permet d’accéder facilement à tous les réglages du microscope et de l’imagerie par clic de souris ou molette de la souris. Les paramètres moins communs sont quant à eux situés hors de la vue de l’utilisateur sur les fenêtres secondaires.

 

 

Caméra et 10 ports accéssoires


 

Le microscope CX-200Plus est livré avec une caméra CCD dans la chambre qui offre 10 ouvertures pour divers accessoires et systèmes d’analyse. Certaines de ces ouvertures sont dédiés à des accessoires standards comme la caméra, le détecteur STEM COXEM, la platine de refroidissement. D’autres ouvertures sont spécifiquement situées pour des analyseurs EDS, EBSD ou WDS. La chambre permet d’accueillir des échantillons jusqu’à 160 mm avec un mouvement du porte échantillon réduit.

 

Positionnement de l'échantillon


 

Le CX-200plus est livré avec une platine standard à 5 axes avec positionnement automatique des échantillons X, Y, Z, R, et T « click and move » pour une flexibilité optimale. Le contrôle des 5 directions s'effectue via l'interface du logiciel et utilise les dimensions de l'échantillon pour éviter les collisions avec les accessoires internes de la chambre.
La fonction Tilt est extrêmement utile pour examiner la topographie d’échantillons plats. Cette fonction d'inclinaison est complexe, de sorte que l'axe des X est ajusté pendant l'inclinaison pour maintenir la région d'intérêt de l'échantillon dans le champ de vision du microscope. La fonction d'inclinaison compucentrique offre plus de polyvalence et de gain de temps grâce à sa facilité d'utilisation, en particulier pour les utilisateurs inexpérimentés.
La platine est capable de traiter des échantillons de grande taille (jusqu'à 160 mm) ou des porte-échantillons pour plusieurs échantillons avec une zone observable de 110mm.

 

 

Outil de métrologie


 

La métrologie ou les mesures d'image sont extrêmement flexibles et précises avec la série de microscopes CX-200. Un étalonnage étendu est effectué en usine à des grossissements multiples, des distances de travail, des énergies de faisceau et plus, entraînant des erreurs de mesure inférieures à 1%. Des rapports d’étalonnage détaillés accompagnent la documentation de chaque système, faisant du CX-200plus un outil précieux qui peut être facilement certifié et accepté dans votre flux de travail.




Le logiciel fournit un accès rapide à tous les outils de mesure courants tels que :

En outre, une fonction de « line scan » peut être utilisée pour des mesures très détaillées et précises en utilisant la variation de la luminosité de chaque pixel pour déterminer avec précision le véritable emplacement des arêtes et des entités observées.

 


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